Traugott Ewald Schulmeiß
Dr. rer. nat. Friedrich-Schiller-Universität Jena 1987
Dissertation:
Steuerung einer Elektronenstrahlbelichtungs-anlage für die Submikrometer-Lithografie: (Beiträge zum "Gerätebetriebssystem ZBA 20"). Teil 4
Advisor 1: Johannes Kerstan
Advisor 2: Horst Oswald
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